OLS5100 현미경
TBB 글로벌 테크놀로지는 베트남에서 Olympus 현미경의 독점 유통업체로서 진정한 품질의 OSL5100 현미경을 소개하고 있습니다.
기술 사양
모델
- OLS5100-SAF
- OLS5100-SMF
- OLS5100-LAF
- OLS5100-EAF
총 확대율
54배 - 17,280배
시야
16 μm - 5,120 μm
측정 원리
광학 시스템
반사형 공초점 레이저 스캐닝 현미경
반사형 공초점 레이저 스캐닝 DIC 현미경
컬러
컬러 DIC
광 수신 요소
레이저: 광전자곱셈관 (2채널)
컬러: CMOS 컬러 카메라
높이 측정
디스플레이 해상도
0.5 nm
다이나믹 레인지
16비트
반복성 n-1 *1 *2 *6
- 5배: 0.45 μm
- 10배: 0.1 μm
- 20배: 0.03 μm
- 50배: 0.012 μm
- 100배: 0.012 μm
정확도 *1 *3 *6
0.15 + L/100 μm (L: 측정 길이 [μm])
스티칭 이미지 정확도 *1 *4 *6
10배: 5.0+L/100 μm, 20배 이상: 1.0+L/100 μm (L: 스티칭 길이 [μm])
측정 잡음 (Sq 잡음) *1 *5 *6
1 nm [Typ]
폭 측정
디스플레이 해상도
1 nm
반복성 3 n-1 *1 *6
- 5배: 0.4 μm
- 10배: 0.2 μm
- 20배: 0.05 μm
- 50배: 0.04 μm
- 100배: 0.02 μm
정확도 *1 *3 *6
측정 값 +/- 1.5%
스티칭 이미지 정확도 *1 *3 *6
10배: 24+0.5L μm, 20배: 15+0.5L μm, 50배: 9+0.5L μm, 100배: 7+0.5L μm (L: 스티칭 길이 [mm])
단일 측정에서의 최대 측정 지점 수
4096 x 4096 픽셀
최대 측정 지점 수
36 M픽셀
XY 스테이지 구성
길이 측정 모듈
작동 범위
100 x 100 mm
모터화
100 x 100 mm
수동
300 x 300 mm
모터화
100 x 100 mm
모터화
최대 샘플 높이
100 mm
30 mm
37 mm
210 mm
레이저 광원
파장
405 nm
최대 출력
0.95 mW
레이저 등급
2등급 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
컬러 광원
화이트 LED
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